《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准正式发布——保视丽为牵头起草单位

近日，中国石油和化学工业联合会正式发布14项团体标准的公告。其中，由保视丽牵头起草，20余家超纯氟材料高新企业共同参与的《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》（T/CPCIF 0464-2025）团体标准经中国石油和化学工业联合会标准化工作委员会审查通过并发布，将于2025年12月11日正式实施。

该标准的制定与实施，将有效填补国内半导体用超高纯材料领域的标准空白，对规范产品质量、提升器件良率、支撑半导体产业链安全与高质量发展具有重要意义。

标准制定 助力国产半导体加速发展

半导体产业朝着高集成度、高精度方向飞速发展，对湿电子化学品输送关键部件的纯度、稳定性和可靠性提出了极高要求。PFA管作为半导体制造过程中输送超纯水及化学品的关键部件，其质量直接影响到芯片制造的良率和性能。

《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准是在参考国际SEMI F57规范的基础上，结合中国半导体产业发展实际，首次对半导体级PFA管的尺寸规格、外观、总有机碳含量、表面粗糙度、金属与非金属离子析出量等关键技术指标作出了系统规定。

尤为值得注意的是，本标准多项技术指标严于国际标准。例如，总有机碳含量要求≤2000 μg/m²（SEMI F57为≤40000 μg/m²），多项金属离子析出量限制要求也显著提高。这些更为严格的规定，体现了中国在高端半导体材料领域的高标准要求，将有效提升国产半导体零部件的可靠性。

牵头起草 保视丽的技术实力担当

保视丽作为本次标准的牵头起草单位，凭借其在氟材料领域的技术积累与产业化经验，为标准的制定提供了关键实验验证数据等多项支持。

一直以来，保视丽通过重点突破超净PFA塑化、挤出、真空定径、牵引卷曲以及尺寸控制等关键工艺技术，结合超纯材料配方以及先进的耐高温耐腐蚀精密设备，并对体系中管材的流变性能、不稳定端基分解特性、尺寸公差、表面平滑度、防腐蚀性能与金属离子析出量等关键性能指标的关系进行专业技术研究，成功开发出半导体级超净PFA管。

保视丽不仅是本次标准的牵头起草者，更是标准的积极推动者。从标准立项论证到技术内容编制，保视丽积极贡献资源，与参编单位共同研讨、验证与完善，充分展现了其作为超纯氟领域创新企业的责任感与担当。

图：保视丽参加二次团标讨论会

权威背书 赋能半导体基础材料升级

中国石油和化学工业联合会（以下简称“石化联合会”）是石油和化工行业具有服务和一定管理职能的全国性、综合性的社会行业组织，包括“参与制定行业规划，对行业内重大投资与开发、技术改造、技术引进项目进行前期论证”的重要职能。

该标准的实施将有效规范半导体级超纯PFA管的生产与检验流程，提升产品质量一致性，降低因管道污染导致的芯片不良率，助力中国半导体产业链的自主可控与高质量发展。